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高纯气体输送系统中气体与管道的关系

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高纯气体输送系统中气体与管道的关系

发布日期:2022-03-18 作者: 点击:

  高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。以下是针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常管理的概述。

  常见气体的种类

  电子行业中常见气体的分类:

  普通气体,也称大宗气体(Bulkgas):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等;

  特种气体(Specialtygas)主要有:SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3、POCL3、SIH2CL2、SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等;

  特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:

  1、腐蚀性/毒性:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…等;

  2、可燃性:H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…

  3、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等;

  4、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等。

  半导体气体很多是对人体有害的。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。

  气体的应用范围

  气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门,均使用大量的常用气体或特种气体。气体应用,特别对这些领域的高新技术有重要的影响,是其不可缺少的原料气或工艺气。也只有各种新兴工业部门和现代科学技术的需要和推动,气体工业产品才能在品种、质量和数量等方面得到飞跃发展。

  气体在微电子、半导体行业中应用

  气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色,特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业,凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业,皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程,其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体,而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响,气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

高纯气体

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